三氟硅烷
识别
CAS号	13465-71-9
PubChem	139462
SMILES	F[SiH](F)F
性质
化学式	SiHF3
摩尔质量	86.09 g·mol⁻¹
外观	无色气体 [1]
密度	3.52 g·L[1]
熔点	−131 °C[1]
沸点	−95 °C[1]
相关物质
相关化学品	甲硅烷 一氟硅烷 二氟硅烷 四氟化硅
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。

三氟硅烷是一种无机化合物，可以由甲硅烷的三个氢原子被氟取代而成。

三氟硅烷可以由三氯硅烷和三氟化锑、氟化锌或四氟化钛^[2] 反应而成。^[3][4]

${\displaystyle \mathrm {SiHCl_{3}+SbF_{3}\longrightarrow SiHF_{3}+SbCl_{3)) }$

${\displaystyle \mathrm {4\ SiHCl_{3}+3\ TiF_{4}\longrightarrow 4\ SiHF_{3}+3\ TiCl_{4)) }$

三氟硅烷也可以由二氟硅烷的热分解取得。 ^[5] 这个反应是由Otto Ruff（德语：Otto Ruff）在20世纪初提出的。 ^[6]

三氟硅烷是一种无色易燃气体，会水解并在室温下缓慢分解。当加热到400℃时，它迅速分解为氢、硅和四氟化硅。它恢分解醇和醚，并降低浓硝酸的浓度。它与空气反应，形成爆炸性气体的混合物。 ^[2]

1. ^ ^{1.0 1.1 1.2 1.3} William M. Haynes. CRC Handbook of Chemistry and Physics, 93rd Edition. CRC Press. 2016: 87. ISBN 978-1-4398-8050-0. 
2. ^ ^{2.0 2.1} Georg Brauer (Hrsg.), unter Mitarbeit von Marianne Baudler u. a.: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearbeitete Auflage. Band I, Ferdinand Enke, Stuttgart 1975, ISBN 3-432-02328-6, S. 254.
3. ^ C. C. Addison. Inorganic Chemistry of the Main-Group Elements. Royal Society of Chemistry. 1973: 188. ISBN 0-85186-752-9. 
4. ^ Leopold Gmelin. Silicon: Supplement volume. Springer-Verlag. 1996: 82. ISBN 3-540-93728-5. 
5. ^ Theodore M. Besmann. Proceedings of the Thirteenth International Conference on Chemical Vapor Deposition. The Electrochemical Society. 1996: 203. ISBN 1-56677-155-2. 
6. ^ Helmut Werner. Geschichte der anorganischen Chemie Die Entwicklung einer Wissenschaft in Deutschland von Döbereiner bis heute. John Wiley & Sons. 2016: 38. ISBN 978-3-527-33907-5.