Масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ) (англ. Secondary-Ion Mass Spectrometry, SIMS) — метод получения ионов из низколетучих, полярных и термически нестойких соединений в масс-спектрометрии.

Первоначально применялся для определения элементного состава низко-летучих веществ, однако впоследствии стал использоваться как десорбционный метод мягкой ионизации органических веществ. Используется для анализа состава твёрдых поверхностей и тонких плёнок. МСВИ — самая чувствительная из техник анализа поверхностей, способная обнаружить присутствие элемента в диапазоне 1 часть на миллиард.

Образец облучается сфокусированным пучком первичных ионов (например ${\displaystyle {\ce {Xe+))}$, ${\displaystyle {\ce {Cs+))}$, ${\displaystyle {\ce {Ga+))}$) с энергией от 100 эВ до нескольких кэВ (большая энергия используется в методе FAB). Образующийся в результате пучок вторичных ионов анализируется с помощью масс-анализатора для определения элементного, изотопного или молекулярного состава поверхности.

Выход вторичных ионов составляет 0,1-0,01 %.

Метод МСВИ требует создания условий высокого вакуума с давлениями ниже 10⁻⁴ Па (примерно 10⁻⁶ мбар или мм рт. ст.). Это необходимо, чтобы гарантировать, что вторичные ионы не сталкиваются с молекулами окружающего газа на их пути к датчику (длина свободного пробега), а также для предотвращения поверхностного загрязнения адсорбцией частиц окружающего газа во время измерения.

Классический анализатор на основе МСВИ включает в себя:

1. первичную ионную пушку, производящую первичный ионный пучок;
2. коллиматор первичных ионов, ускоряющий и сосредотачивающий луч на образце (в некоторых устройствах с возможностью отделить первичные ионы специальным фильтром или создать пульсацию луча);
3. высоковакуумную камеру, содержащую образец и ионную линзу для извлечения вторичных ионов;
4. массовый анализатор, разделяющий ионы согласно их отношению заряда к массе;
5. устройства детектирования ионов.

Различают статический и динамический режимы МСВИ.

Используется небольшой поток ионов на единицу поверхности (< 5 нА/см²). Таким образом, исследуемая поверхность остаётся практически невредимой.

Применяется для исследования органических проб.

Поток первичных ионов большой (порядка мкА/см²), поверхность исследуется последовательно, со скоростью примерно 100 ангстрем в минуту.

Режим является деструктивным, и, следовательно, подходит больше для элементного анализа.

Эрозия пробы позволяет получить профиль распределения веществ по глубине.

• Дж. Маан, В. Спайсер, А. Либш и др. Электронная и ионная спектроскопия твердых тел / Л. Фирмэнс, Дж. Вэнник, В. Декейсер. — М.: Мир, 1981. — 467 с.

• Афанасьев В.П. Электронная и ионная спектроскопия твердых тел // Соросовский образовательный журнал, 1999, №2, с. 110-116.

• На Викискладе есть медиафайлы по теме Масс-спектрометрия вторичных ионов