圧力センサ
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MEMSで一般的な圧力センサはダイアフラムゲージ(diaphragm gauge)で、隔膜（ダイアフラム）に加わる圧力を膜の変形として検出する。 変形を検出する方法には静電容量の変化やひずみゲージを使う。小型の血圧計などに使われている。
膜に耐腐食性の材料を使用すれば、反応性の液体や気体の圧力も計測できる。
その他に気体によるダンピングが気圧に依存することを利用して、振動子のQ値の変化を検出することで気圧を検出するタイプの圧力計もある。
一定圧力で作動する接点検出式の圧力スイッチも含まれる。
関連項目
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