KLA Corporation
Rechtsform	Corporation
ISIN	US4824801009
Gründung	Mai 1997
Sitz	Milpitas, Kalifornien
Leitung	Richard P. (Rick) Wallace (CEO)
Mitarbeiterzahl	15.000 (Stand 2023)[1]
Umsatz	10,5 Mrd. US$ (2023)[1]
Branche	Maschinenbauer für die Halbleiterindustrie
Website	www.kla-tencor.com

KLA-Tencor ist ein weltweites Unternehmen aus den Vereinigten Staaten, das Geräte zur Waferinspektion und Halbleiter-Produktionsüberwachung herstellt. Der Hauptsitz des Unternehmens befindet sich in Milpitas, Kalifornien. Das Unternehmen ist börsennotiert im amerikanischen NASDAQ unter dem Kürzel KLAC.

Die von KLA-Tencor hergestellten Geräte messen beispielsweise Waferkrümmung, Waferrauheit, Oberflächendefekte, den Overlay-Versatz oder Eigenschaften von dünnen Filmen, die auf den Wafern aufgebracht wurden (z. B. Dicke und Brechungsindex). Entwicklung und Produktion finden statt in Milpitas und den Niederlassungen in Deutschland (Weilburg), Singapur, Israel, Hongkong und China (Shanghai und Shenzhen).^[2]

Zu den größten Kunden gehören die Halbleiterhersteller TSMC, Samsung, Intel und Micron Technology.^[3]

Im April 1997 fusionierten die beiden Unternehmen KLA Instruments Corporation (gegründet 1975 in San Jose) und Tencor Instruments (gegründet 1976 in Mountain View) und bildeten die KLA-Tencor.^[4][5] Beide Unternehmen stellten Geräte zur Optimierung der Halbleiterproduktion her: KLA Instruments produzierte Maschinen zur automatischen Prüfung von Photomasken, während Tencor Instruments Maschinen zur Verbesserung der Ausbeute in der Produktion herstellte. Zusammengenommen hatten die Unternehmen zum Zeitpunkt der Fusion einen Umsatz von mehr als 1 Mrd. US$.^[5]

1998 wurde das Freiburger Unternehmen Nanopro GmbH übernommen. Nanopro war spezialisiert auf Geräte zur interferometrischen Messung der Wafer-Dicke und -Form.^[6]

Ein im Jahr 2015 abgegebenes Übernahmeangebot durch den Konkurrenten Lam Research wurde ein Jahr später wegen wettbewerbsrechtlicher Bedenken des Justizministeriums der Vereinigten Staaten zurückgezogen.^[7][8]

Im Juli 2019 benannte sich das Unternehmen um in KLA Corporation.^[9]

1. ↑ ^{a b} Annual Report 2023. (pdf) KLA Corporation, 3. August 2023, abgerufen am 15. Januar 2024 (englisch). 
2. ↑ Factsheet. KLA-Tencor, abgerufen am 9. Januar 2018 (englisch). 
3. ↑ Annual Report 2021. (PDF) KLA-Tencor, 2021, abgerufen am 29. Juni 2022 (englisch). 
4. ↑ Annual Report 2023. (pdf) KLA Corporation, 3. August 2023, S. 1, abgerufen am 15. Januar 2024 (englisch). 
5. ↑ ^{a b} KLA Instruments, Tencor to Merge. Los Angeles Times, 15. Januar 1997, abgerufen am 15. Januar 2024 (englisch). 
6. ↑ KLA-Tencor Weathers Storm, Builds for Future. Semiconductor Online, 12. August 1998, abgerufen am 15. Januar 2024 (englisch). 
7. ↑ Marc Sauter: Lithographie: KLA-Tencor und Lam Research fusionieren zu größtem Ausrüster. In: Golem.de. 26. Oktober 2015, abgerufen am 9. Januar 2018. 
8. ↑ Chip equipment maker Lam Research calls off KLA-Tencor deal. Reuters, 6. Oktober 2016, abgerufen am 9. Januar 2018 (englisch). 
9. ↑ Annual Report 2019. (pdf) KLA Corporation, 16. August 2019, S. 79, abgerufen am 15. Januar 2024 (englisch).